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工業制氧設備的原理是利用空氣分離技術，先將空氣進行高密度壓縮，然后空氣中各種成分的凝點不同，使其在一定溫度下與氣液分離，再進一步精餾。

工業氧氣通常通過這種物理方法獲得。氧氣發生器也被稱為空氣分離設備。根據產品數量，可分為800m3/h以下的小型設備；1000-6000m3/h中型設備；10000m3/h以上的大型設備，所謂800m3/h和1000-6000 m3/h，是指空分塔制氧裝置每小時的產值。我國制氧設備一般由空氣壓縮機、預冷設備、凈化設備和空分塔組成。